Để đánh giá hiệu suất làm việc của một máy bơm hút chân không. Người ta thường xét hai thông số kỹ thuật đó là áp suất cuối cùng và lưu lượng hút. Áp lực cuối cùng là áp suất tối thiểu, hay gọi tắt là Max. Để tạo được môi trường chân không có thể sử dụng máy bơm hút chân không hay một hệ thống bơm chân không để hút cho một thể tích kín. Tốc độ bơm là độ lớn của dòng chảy ở đầu khí vào của bơm trên một đơn vị thời gian. Thường được chỉ định bởi Lit/phút. Tốc độ bơm sẽ ảnh hưởng đến thời gian cần thiết để hệ thống chân không đạt được áp suất chân không mong muốn. Bơm hút chân không có thể được chia thành 4 loại theo áp suất cuối cùng như sau:

• Chân không thấp (p>100Pa) trong lĩnh vực sản xuất.
• Chân không trung bình (100Pa>p>0.1Pa) trong lĩnh vực sản xuất công nghệ cao.
• Chân không cao (0.1Pa>p>10−5Pa) trong lĩnh vực nghiên cứu, phòng thí nghiệm.
• Chân không siêu cao (p<10−5Pa) trong lĩnh vực nghiên cứu, phòng thí nghiệm.