Từ khóa: bơm chân không sản xuất chip
Bơm chân không Atlas Copco – Giải pháp tối ưu cho ngành công nghiệp bán dẫn
Trong ngành bán dẫn – nơi yêu cầu độ chính xác và môi trường siêu sạch – bơm chân không là thiết bị không thể thiếu trong các quy trình như khắc plasma, lắng đọng màng mỏng, kiểm tra wafer, đóng gói và làm sạch